[发明专利]一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置有效
| 申请号： | 201610934313.3 | 申请日： | 2016-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN106370958B | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 刘念;缪旻;金玉丰 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01N21/88;G01N29/06 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 郭燕 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置，该方法包括对LTCC基板样品进行初步检测；对通过初步检测的LTCC基板样品分别进行低温贮存测试、高温贮存测试和高低温循环测试，并对每次测试后的LTCC基板样品进行检测。该方法和装置对内嵌微流道的LTCC基板进行了低温贮存、高温贮存、温度循环等系列环境科目测试，检测内嵌微流道LTCC基板的质量无损和结构完整性，得出其在地面模拟使用环境中是否可靠的定性结论。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 内嵌微流道 ltcc 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法,其特征在于，所述方法包括：对LTCC基板样品进行初步检测；对通过初步检测的LTCC基板样品分别进行低温贮存测试、高温贮存测试和高低温循环测试，并对每次测试后的LTCC基板样品进行检测；对所述LTCC基板样品进行的高低温循环测试的循环次数为5～15次；每次高温或者低温的保持时间为25min～35min；所述高低温循环测试之后恢复1.5～2.5小时后再对测试后的LTCC基板样品进行检测；其中，初步检测的项目包括所述LTCC基板样品的微流道内部结构是否完整，和/或是否存在裂痕和塌陷，和/或是否存在机械损伤；对所述LTCC基板样品进行的低温贮存测试的测试温度为‑55℃～‑40℃；对所述LTCC基板样品进行的高温贮存测试的测试温度为85℃～125℃；所述低温贮存测试、高温贮存测试的贮存时间均为20～28小时。
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