[发明专利]光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机有效
| 申请号： | 201610929894.1 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN106338805B | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 张德福;李显凌;倪明阳;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G02B7/02;G03B21/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 130033 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光学元件六自由度微位移调节装置，包括镜筒，三个调节支链安装于镜筒的上表面，每个调节支链提供两个自由度的位移调节；支撑镜框安装于三个调节支链的上表面，在每个调节支链的驱动下，支撑镜框可在两个自由度产生位移；光学元件固定于支撑镜框内，在三个调节支链的驱动下，实现光学元件的六自由度位移调节，适用于对六个自由度都很敏感的光学元件调节，有效提高了光学元件位移调节精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 自由度 位移 调节 装置 投影 物镜 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件六自由度微位移调节装置，其特征在于，包括：镜筒；三个调节支链，沿镜筒的圆周方向分别安装于所述镜筒上，每个调节支链提供两个自由度的位移调节；以及支撑镜框，其安装于所述三个调节支链上，在每个调节支链的驱动下，所述支撑镜框可在两个自由度产生位移；其中，光学元件固定于所述支撑镜框内，在所述三个调节支链的驱动下，所述支撑镜框带动所述光学元件实现六自由度位移调节；所述调节支链包括：固定端，其底端安装于所述镜筒的上表面；连杆组件，其支撑所述支撑镜框；以及柔性铰链机构，位于所述固定端和连杆组件之间，所述固定端的顶端通过所述柔性铰链机构连接所述连杆组件；其中，通过所述柔性铰链机构，使得所述连杆组件相对于所述固定端在两个自由度产生位移，从而带动所述支撑镜框在两个自由度产生位移；所述柔性铰链机构包括：对称柔性四杆机构，提供一个自由度的位移调节，使得所述连杆组件可在两个自由度中的一个自由度产生位移；以及两个折叠柔性铰链，连接所述对称柔性四杆机构的两端，其提供两个自由度的位移调节，使得所述连杆组件可在两个自由度产生位移。
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