[发明专利]一种测量工件表面形貌的方法和装置有效
| 申请号： | 201610896136.4 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN107957249B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 王喆;邹如飞 | 申请（专利权）人： | 王喆;邹如飞 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100124 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量工件表面形貌的方法和装置，包括：对于待测工件的每个面，将该面划分为多个待测子表面；对于每个待测子表面，分别对该待测子表面进行投影成像和全息成像；根据该待测表面的投影成像结果得到该待测子表面的空间位置，根据该待测子表面的全息成像结果在该待测子表面的空间位置处重现全息表面形貌，作为该待测子表面的表面形貌；根据同一个面上的各待子表面之间的位置关系，将多个待测子表面的表面形貌拼接成该多个待测子表面所在的面的表面形貌；根据待测工件的各个面的表面形貌，获得待测工件的表面形貌。本方案将投影成像结果的量程大、精度低的特点以及全息成像结果量程小、精度高的特点相结合，宜于获得符合测量需求的工件表面形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 工件 表面 形貌 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种测量工件表面形貌的方法，其特征在于，该方法包括：对于待测工件的每个面，将该面划分为多个待测子表面；对于每个待测子表面，分别对该待测子表面进行投影成像和全息成像；根据该待测表面的投影成像结果得到该待测子表面的空间位置，根据该待测子表面的全息成像结果在该待测子表面的空间位置处重现全息表面形貌，作为该待测子表面的表面形貌；根据同一个面上的各待子表面之间的位置关系，将多个待测子表面的表面形貌拼接成该多个待测子表面所在的面的表面形貌；根据待测工件的各个面的表面形貌，获得待测工件的表面形貌。
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