[发明专利]一种利用MgZnO薄膜制作CIGS薄膜太阳能电池的方法

摘要

一种利用MgZnO薄膜材制作CIGS薄膜太阳能电池的方法，该方法包含：步骤1，在钠钙玻璃上制备Mo层；步骤2，在Mo层上制备CIGS层；步骤3，在CIGS上制备CdS层；步骤4，在CdS层上制备MgZnO薄膜层；步骤5，对制备好的MgZnO薄膜进行退火处理；步骤6，在MgZnO层上制备掺铝氧化锌(AZO)层，构成CIGS薄膜太阳能电池器件。本发明所述MgZnO薄膜材料是指采用磁控溅射方法制备MgZnO薄膜层作为CIGS电池的高阻层，与传统的ZnO高阻层相比，本发明可以有效地增大对蓝光的吸收,增加光谱响应范围,提高CIGS薄膜太阳能电池的开路电压，提升电池效率。

主权项

一种利用MgZnO薄膜制作CIGS薄膜太阳能电池的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤一、在钠钙玻璃基底上沉积背电极钼Mo层；步骤二、在Mo层上制备CIGS薄膜层作为光吸收层；步骤三、在CIGS上制备硫化镉CdS层；步骤四、在硫化镉CdS层上制备掺镁氧化锌层即MgZnO薄膜；步骤五、对步骤四中制备的MgZnO薄膜进行退火处理。步骤六、在MgZnO薄膜层上制备掺铝氧化锌AZO层，构成如SLG/Mo/CIGS/CdS/MgZnO/AZO的CIGS电池器件结构。