[发明专利]集成电路生产车间用低位通风除尘装置在审
申请号: | 201610881574.3 | 申请日: | 2016-10-09 |
公开(公告)号: | CN106419739A | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | 吕耀安 | 申请(专利权)人: | 无锡宏纳科技有限公司 |
主分类号: | A47L7/00 | 分类号: | A47L7/00 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙)32228 | 代理人: | 孙力坚;聂启新 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新区清源路*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种集成电路生产车间用低位通风除尘装置,包括底支撑板及顶支撑板,所述底支撑板与顶支撑板之间安装有多个拱形支撑板,拱形支撑板与底支撑板之间的拱形腔中安装有吸尘管,相邻拱形支撑板与顶支撑板之间为导尘腔,所述导尘腔的底部设有导出口,所述导出口与吸尘管之间通过导管连通,位于所述导尘腔的上方的顶支撑板上具有滤尘孔。本发明采用地面抽吸方式,对集中靠近地面的灰尘进行抽吸,其抽吸效果好,效率高;合理布置的拱形支撑板及吸尘管,进一步提高抽吸效果。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 生产 车间 低位 通风 除尘 装置 | ||
【主权项】:
一种集成电路生产车间用低位通风除尘装置,其特征在于:包括底支撑板(1)及顶支撑板(2),所述底支撑板(1)与顶支撑板(2)之间安装有多个拱形支撑板(3),拱形支撑板(3)与底支撑板(1)之间的拱形腔(4)中安装有吸尘管(5),相邻拱形支撑板(3)与顶支撑板(2)之间为导尘腔(6),所述导尘腔(6)的底部设有导出口(7),所述导出口(7)与吸尘管(5)之间通过导管(8)连通,位于所述导尘腔(6)的上方的顶支撑板(2)上具有滤尘孔(9)。
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