[发明专利]特别是用于微型投影仪的、包括使用MEMS技术制造的微镜面的镜面组件有效
| 申请号： | 201610875917.5 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107082406B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | R·布廖斯基 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张宁 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 由沿着弯曲线(C)弯曲并且包括分别承载了第一和第二芯片的第一和第二支撑部分(32，33)的整体框架(31)形成镜面组件(30),形成使用MEMS技术制造的两个微镜面。第一和第二支撑部分(32，33)设置在框架的弯曲线(C)的相对侧边上，相对于相互成角度倾斜。通过分离承载了多个框架、具有柔性电连接元件的成型金属卷带而获得镜面组件。在附接芯片之后，预切割框架，沿着弯曲线弯曲，并且分离。 | ||
| 搜索关键词： | 特别是 用于 微型 投影仪 包括 使用 mems 技术 制造 微镜面 组件 | ||
【主权项】：
1.一种镜面组件，包括：半导体材料的第一芯片，形成第一微镜面；半导体材料的第二芯片，形成第二微镜面；以及整体的框架，沿着弯曲线弯曲并且包括分别承载所述第一芯片和所述第二芯片的第一支撑部分和第二支撑部分，所述第一支撑部分和所述第二支撑部分设置在所述框架的弯曲线的相对侧边上并且相对于彼此成角度倾斜设置。
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