[发明专利]一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置

摘要

本发明公开了一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置，包括设在基板上的手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有针电极单元，其针电极指向设在支座上端的微结构单元；微结构单元包括固定套，在固定套孔内的环形阶梯处绝缘安装有安装板，在安装板下部设有半圆形通孔，在安装板上通过微结构压板压装MEMS金属微结构；所述针电极和安装板分别与高压电容的两极电联接，在针电极和高压电容之间设有第一空气开关控制通断；高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。该装置能够避免底座结构的振动响应对测试结果的干扰，实现了对金属微结构的非接触式激励，操作简便安全，激励效果好。

主权项

1.一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置，包括基板，在基板上设有手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有针电极单元；其特征是：所述针电极单元包括用于连接Z轴溜板的直角连接板，在直角连接板上设有二块相互平行的支撑板，在二块支撑板之间设有平行布置的导向轴和丝杠并在导向轴上套设有传动板，传动板与丝杠之间通过丝母连接，在其中一块支撑板外侧设有与丝杠同轴连接的步进电机，在传动板上端通过陶瓷管绝缘安装有针电极，针电极指向设置在支座上端的微结构单元；所述微结构单元包括安装在支座上端的固定套，在固定套内设有阶梯状安装孔，在安装孔内的环形阶梯处绝缘安装有安装板，在安装板下部设有半圆形通孔，在安装板上对应针电极一侧通过微结构压板压装MEMS金属微结构，MEMS金属微结构的振动端凸出微结构压板并悬置于所述半圆形通孔一侧；所述针电极和安装板分别与高压电容的两极电联接，在针电极和高压电容之间设有第一空气开关控制通断；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。