[发明专利]一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置

权利要求书

1.一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置，包括基板，在基板上设有手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有针电极单元；其特征是：所述针电极单元包括用于连接Z轴溜板的直角连接板，在直角连接板上设有二块相互平行的支撑板，在二块支撑板之间设有平行布置的导向轴和丝杠并在导向轴上套设有传动板，传动板与丝杠之间通过丝母连接，在其中一块支撑板外侧设有与丝杠同轴连接的步进电机，在传动板上端通过陶瓷管绝缘安装有针电极，针电极指向设置在支座上端的微结构单元；

所述微结构单元包括安装在支座上端的固定套，在固定套内设有阶梯状安装孔，在安装孔内的环形阶梯处绝缘安装有安装板，在安装板下部设有半圆形通孔，在安装板上对应针电极一侧通过微结构压板压装MEMS金属微结构，MEMS金属微结构的振动端凸出微结构压板并悬置于所述半圆形通孔一侧；

所述针电极和安装板分别与高压电容的两极电联接，在针电极和高压电容之间设有第一空气开关控制通断；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。

2.根据权利要求1所述的一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置，其特征是：所述手动三轴位移台安装在一个底板上，该底板通过螺钉固定在基板上。

3.根据权利要求1所述的一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置，其特征是：所述陶瓷管垂直穿过传动板并通过设在传动板上端的顶丝固定。

4.根据权利要求1所述的一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置，其特征是：所述支座为阶梯轴状，其下端为大径端并套设有法兰盘，法兰盘与基板通过螺钉连接并将支座固定在基板上，支座上端与固定套通过螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置，其特征是：所述安装板通过圆周均布的螺栓固定在安装孔内的环形阶梯处，在每个螺栓上位于安装板与所述安装孔内的环形阶梯之间以及固定套与螺母之间分别套设有陶瓷垫圈，用于实现安装板与固定套之间的电绝缘。

6.根据权利要求5所述的一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置，其特征是：所述微结构压板通过多个螺钉固定在安装板上，MEMS金属微结构夹持在微结构压板与安装板之间。

7.根据权利要求6所述的一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置，其特征是：在安装板外侧设有一个螺孔，用于固定与高压电容连接的导线。