[发明专利]一种非接触式静电表校准装置和方法

摘要

本申请提供一种非接触式静电表校准装置和方法，使校准时非接触式静电表前端面和标准平板电极之间处于标准距离，提高静电表位置精度，减小校准装置测试量不确定性差别。本申请非接触式静电表校准装置，包括标准平面电极、平板、位移平台、固定部件、深度尺；电气部分包含高压电压源、电压表、分压器、保护电阻。本申请非接触式静电表校准方法，包含静电表安装、标准距离标定、静电表定位、电压测试的过程。本发明增加了非接触式静电表测量时的稳定性、提高测量值稳定度；作为本发明的最佳实施例，使标准距离精度达到0.01mm、校准不确定度小于0.5％。

主权项

1.一种非接触式静电表校准装置，包括标准平面电极、平板、位移平台、固定部件、深度尺、支架、绝缘垫，其特征在于，标准平面电极为铝质材料，直径为500mm，厚度为20mm；所述支架用于机械连接所述平板和所述标准平面电极；所述绝缘垫用于电隔离所述标准平面电极；所述绝缘垫为聚四氟乙烯；所述支架采用玻璃钢材料；所述标准平面电极与所述平板相垂直；所述位移平台可调节，在平行于所述平板所在平面且垂直于所述标准平面电极所在平面的方向移动，即前后移动；在平行于所述平板所在平面且平行于所述标准平面电极所在平面的方向移动，即左右移动；所述位移平台的顶部可调节，在垂直于所述平板所在平面的方向移动，即上下移动；所述位移平台，用于非接触式准静电表与标准平面电极的中心对正及调整测量距离；所述位移平台前后移动距离0～120mm；左右移动0～40mm；上下移动0～10mm；所述固定部件位于所述位移平台的顶部，用于固定所述非接触式静电表；所述深度尺位于所述位移平台的顶部，所述深度尺度的测量方向与所述标准平面电极相垂直；所述深度尺的测试端面与所述标准平面电极平行。