[发明专利]一种光配向系统有效
| 申请号： | 201610840297.1 | 申请日： | 2016-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107844006B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 郑乐平;李玉龙;许琦欣;陆海亮 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光配向系统，包括：激光器，用以产生激光；分束单元，用以将所述激光器产生的激光分成两光束；扩束单元，用以分别将所述分束单元分束后的两光束的光斑调整为条状光斑；光束反射单元，用以分别将所述扩束单元调整过的两光束反射后于玻璃基板上形成干涉条纹；工件台，用以承载所述玻璃基板沿扫描方向移动，完成对所述玻璃基板上配向膜的配向；能量探测单元，用以分别探测经所述分束单元分束后的两光束的能量；条纹探测单元，用以探测所述干涉条纹的分布；控制单元，用以根据所述能量探测单元和所述条纹探测单元反馈的信息，通过执行部件对两光束进行调整，从而得到所需的干涉条纹。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 系统 | ||
【主权项】：
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