[发明专利]一种热解氮化硼坩埚及其制备方法

摘要

本发明提供了一种热解氮化硼坩埚的制备方法，本发明公开的方法操作简单，不存在二次升温，减少了人员操作的失误率，节约了人力和时间。由上述方法得到的具有预涂层的热解氮化硼坩埚容易脱模，脱模后，用气体吹扫坩埚内壁，热解氮化硼预涂层即可轻易脱落，获得的热解氮化硼坩埚内表面洁净光滑，无需二次打磨，避免了打磨过程中对热解氮化硼坩埚内壁的损伤，有效提高了热解氮化硼坩埚的性能和质量。同时，模具易清理，不易磨损，因而模具的使用次数较多，更换成本较低。

主权项

一种热解氮化硼坩埚的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：A)含硼的气态化合物和含氮的气体在真空的条件下，在加热后的模具上进行化学气相沉积反应，得到预涂层；B)得到预涂层后，停止所述化学气相沉积反应，并保持恒温；C)所述保持恒温后，继续所述化学气相沉积反应，得到具有预涂层的热解氮化硼坩埚；D)除去所述预涂层，得到热解氮化硼坩埚。