[发明专利]石英玻璃的制备方法及石英玻璃

摘要

本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在在氢氟酸和氟气F₂等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解混合形成掺杂混合溶液，第一掺杂化合物为含铝化合物；将硅醇盐溶液、掺杂混合溶液与催化剂进行水解缩聚反应，获得掺杂二氧化硅凝胶；将掺杂二氧化硅凝胶经过烧制为石英玻璃成品，其中，石英玻璃成品中包含有经掺杂混合溶液烧制转化而成的Al₂O₃、经掺杂混合溶液烧制转化而成的ZrO₂、Y₂O₃、La₂O₃、Sc₂O₃、ThO₂、V₂O₅、TiO₂中的至少一种。Al₂O₃、ZrO₂、Y₂O₃、La₂O₃、Sc₂O₃、ThO₂、V₂O₅、TiO₂以网络中间体或网络外体形式填充在SiO₂四面体网络结构的孔隙中，石英玻璃抗酸性腐蚀。

主权项

1.一种石英玻璃的制备方法，其特征在于，包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解混合形成掺杂混合溶液，所述第一掺杂化合物为含铝化合物，所述第二掺杂化合物包括含Zr化合物、含Y化合物、含Sc化合物、含Th化合物、含V化合物、含Ti化合物中的至少一种；将体积份L1的硅醇盐、体积份L2的水、体积份L3的醇类有机溶剂混合形成硅醇盐溶液；将所述硅醇盐溶液、所述掺杂混合溶液与催化剂进行水解缩聚反应，制备生成掺杂Al3+和Zr4+、Y3+、Sc3+、Th4+、V5+、Ti4+中的至少一种掺杂离子的二氧化硅溶胶，至二氧化硅溶胶凝胶化，获得掺杂二氧化硅凝胶；将所述掺杂二氧化硅凝胶经过烧制工艺烧制为石英玻璃成品，其中，所述石英玻璃成品中包含有经所述掺杂混合溶液中的第一部分烧制转化而成的Al2O3、经所述掺杂混合溶液中的第二部分烧制转化而成的ZrO2、Y2O3、Sc2O3、ThO2、V2O5、TiO2中的至少一种。