[发明专利]具有微粒屏障的传感器有效
| 申请号： | 201610807852.0 | 申请日： | 2013-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN106289211B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 詹妮弗·吴;罗德尼·L·阿莱;R·G·万斯雷;唐纳德·J·米利根 | 申请（专利权）人： | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 周艳玲;王琦 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种具有微粒屏障的传感器。在一示例中，传感器包括：分别被设置在平坦的支承表面上和检测质量块上的第一电极组和第二电极组，所述检测质量块能沿着大体平行于所述平坦的支承表面的第一轴线顺从地移位；和第一屏障，该第一屏障被设置在所述平坦的支承上围绕所述第一电极组，并且具有的高度小于所述平坦的支承与所述检测质量块之间的间隙，以减轻向所述第一电极组或所述第二电极组中的微粒迁移。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微粒 屏障 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，包括：分别设置在平坦的支承表面和检测质量块上的第一电极组和第二电极组，所述检测质量块能够沿着大体平行于所述平坦的支承表面的第一轴线移位；屏障，在所述检测质量块上设置在所述第二电极组的外侧，并且具有的高度小于所述平坦的支承表面与所述检测质量块之间的间隙；以及在所述检测质量块中围绕所述屏障形成的至少一个沟槽。
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