[发明专利]金刚线晶锭开方机

摘要

本发明涉及多晶硅加工专用切割设备，旨在提供金刚线晶锭开方机。该种金刚线晶锭开方机包括大底架、工作台、工作台水平移动电机、减速机、主丝杠、机械手部件、切割室部件、升降机构、收放线部件、张力部件、底部导轮部件。本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了材料损耗，并改善了工作环境；本发明采用新的旋转机构来降低工作台高度，从而减小切割导轮轴距，线弓小，进刀快，切割效率高，避免了因为硬质点造成的切割尺寸偏差；本发明在底部导轮处增加了水平移动功能，在第二次进刀时将切割线由竖直变为斜线，仅在晶锭上方切出一个切入口，从而避免了尺寸无法控制及崩边。

主权项

金刚线晶锭开方机，能利用金刚线切割晶锭，其特征在于，所述金刚线晶锭开方机包括大底架、工作台、工作台水平移动电机、减速机、主丝杠、机械手部件、切割室部件、升降机构、收放线部件、张力部件、底部导轮部件；所述大底架上装有主导轨，主导轨上方装有工作台；所述工作台水平移动电机安装在大底架的一侧，工作台水平移动电机连接有减速机，减速机通过主丝杠与工作台连接，使工作台能沿着主丝杠轴向进行水平移动；所述收放线部件设有两个，分别安装在大底架的两侧；收放线部件能够存储金刚线，且能控制金刚线伸出或收回的速度；所述切割室部件包括切割室龙门架、换向导轮、切割导轮、换向轮驱动电机、同步带，切割室部件利用切割室龙门架安装在大底架的正上方；切割室龙门架横梁的底面上并排装有M个换向导轮，且M个换向导轮通过同步带相连；换向导轮的侧面并排装有N个切割导轮，即两侧的换向导轮在靠中间一侧安装有1个切割导轮，每个中间的换向导轮的两侧各安装有1个切割导轮；且安装在切割室龙门架横梁最中间处的一个换向导轮的一端连接有换向轮驱动电机；所述M是大于2的自然数，N是大于4的自然数；所述底部导轮部件滑设于大底架上，底部导轮部件连接有伺服电机，用于控制底部导轮部件能够沿主导轨方向水平移动，且底部导轮部件位于切割室龙门架的下方；底部导轮部件的顶面上并排装有K个换向导轮，换向导轮的侧面并排装有N个切割导轮，即每个换向导轮的两侧各安装有1个切割导轮；所述K＝M－1；所述工作台上开有N条贯通的长条，用于金刚线线网穿过；且：龙门架上的切割导轮与底部导轮部件上的切割导轮之间缠绕金刚线时，形成N条切割线，每条切割线刚好位于长条的中心；切割室龙门架的两侧各装有一个张力部件，张力部件用于控制金刚线的张力；所述大底架的中间处设有一凹槽，所述升降机构固定装设在凹槽内部；升降机构是通过液压缸驱动升降的剪式升降机构，升降机构上等间距装有N排立柱，每排立柱设有G根，每排立柱位于工作台上每条长条的中心，且立柱的直径小于长条的宽度，使立柱能够从工作台上的长条处升起；所述G是大于1的自然数；所述机械手部件包括安装架、旋转电机、机械手主轴、手爪安装架、机械手爪、联轴器、手爪水平移动电机，安装架固定在大底架上，且安装架的旋转中心位于升降机构的正上方；机械手主轴安装在安装架的正中心位置，机械手主轴的上端通过联轴器与旋转电机连接，下端安装手爪安装架；所述机械手爪滑设于手爪安装架上，使机械手爪能够在手爪安装架上水平移动，并通过手爪水平移动电机控制机械手爪的抓取及打开。