[发明专利]一种电磁驱动一维微镜在审
| 申请号： | 201610775333.0 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106249402A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 沈文江;余晖俊 | 申请（专利权）人： | 常州创微电子机械科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司32234 | 代理人： | 徐萍 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电磁驱动一维微镜，其特征在于，包括：基座和镜面，所述镜面通过扭转梁架设在基座上，并绕扭转梁任意角度旋转；所述镜面的一面为反射用反射面，另一面上设有用于产生输出力矩的电磁线圈。通过上述方式，本发明微镜整体结构紧凑，两块磁铁将镜面包裹，增加电磁线圈处的磁感应强度，增大驱动线圈产生的输出力矩；将反射面与驱动线圈放在不同的面上相较于将反射面与驱动线圈放在一面上，可以扩大镜面的有效尺寸，同时通过增加线圈的长度来增大驱动线圈的输出力矩，即实现大尺寸微镜的大角度偏转。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁 驱动 一维微镜 | ||
【主权项】：
一种电磁驱动一维微镜，其特征在于，包括：基座和镜面，所述镜面通过扭转梁架设在基座上，并绕扭转梁任意角度旋转；所述镜面的一面为反射用反射面，另一面上设有用于产生输出力矩的电磁线圈。
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