[发明专利]金属结构多环振动盘微陀螺及其制备方法有效
| 申请号： | 201610712165.0 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN106403921B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 吴校生;李栋;叔晟竹;王振瑜;陈文元 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 徐红银;郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属结构多环振动盘微陀螺及其制备方法，所述微陀螺由上到下包括封装盖、金属多环振子、金属电极、基片，所述金属多环振子为振动惯性质量，是被检测的对象，金属多环振子内置于所述封装盖与基片之间形成的真空的、封闭的空间中；本发明采用金属多环振子，金属平面结构加工易实现，加工成本低；金属结构密度大，可提高结构的惯性力，改善器件性能；多环结构增加了微陀螺器件的驱动力以及检测灵敏度。本发明能实现以更低的成本和条件要求来达到更高的器件精度和品质的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 金属结构 振动 陀螺 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属结构多环振动盘微陀螺，其特征在于：由上到下包括封装盖、金属多环振子(100)和基片，其中：所述封装盖与所述基片之间形成一真空封闭的空间，所述金属多环振子(100)封装在该真空封闭的空间中；所述金属多环振子包括金属振子结构(201)和支撑柱(101)，所述支撑柱(101)位于所述金属多环振子(100)中心，所述金属振子结构(201)由多个同心金属圆环(107)组成，相邻的两个金属圆环(107)由在圆周方向上均匀分布的辐条(106)联结，最内圈金属圆环(107)通过辐条(106)形成联结，相邻的金属圆环(107)与辐条(106)在金属多环振子(100)内局部围成槽(108)，形成的多个槽(108)在金属振子结构(201)上均匀分布；所述金属振子结构(201)与基片之间存在间隙，形成悬空结构，支撑柱(101)设置在基片上表面，和基片形成固定联结，金属振子结构(201)通过最内圈的辐条(106)与支撑柱(101)联结；所述金属多环振子，其内圈的槽(108)内设置有数对驱动电极(102、103)，其外圈的槽(108)内设置有数对检测电极(104、105)，驱动电极(102、103)和检测电极(104、105)分别用于陀螺参考振动的激励和振动的检测。
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