[发明专利]麦克风传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201610696309.8 | 申请日： | 2016-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN107770706B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 韩凤芹;刘孟彬;毛剑宏 | 申请（专利权）人： | 海门天眼光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 李时云 |
| 地址： | 226133 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种麦克风传感器及其制备方法，通过将所述第一基底和第二基底进行键合形成空腔，然后在所述第二基底背离所述第一基底的一面形成背面开口，所述背面开口与所述声学孔导通，以实现MEMS结构的形成，所述麦克风传感器可以在现有的晶圆厂可以完成，无需特殊的仪器及材料，制备方法简单，降低了制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 麦克风 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种麦克风传感器，其特征在于，包括：第一基底，所述第一基底具有第一面和与所述第一面相背的第二面，所述第一基底包括第一区域和第二区域，所述第一区域上设置有控制电路，所述第二区域的第一面具有振动膜开口；第二基底，所述第二基底包括第三面和与所述第三面相背的第四面，所述第二基底的第三面键合在所述第一基底的第二面，所述第三面具有一导电区域，所述导电区域具有多个声学孔；所述第一基底和第二基底之间形成一空腔，所述空腔正对所述振动膜开口，所述振动膜开口和空腔之间的第一基底形成振动电极，所述声学孔与所述空腔导通；所述第四面具有背面开口，所述背面开口正对所述空腔，所述背面开口和空腔之间的第二基底形成固定电极，所述背面开口与所述声学孔导通。
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