[发明专利]压印装置及其工作方法

摘要

本发明公开了一种压印装置及其工作方法，所述压印装置包括压印腔体和底座，所述压印腔体与所述底座相互配合形成压印腔室，所述压印腔室之内设置有分隔膜，所述分隔膜将所述压印腔室分隔成第一腔室和第二腔室，所述第一腔室位于所述第二腔室的上方，所述第二腔室之内设置有压印模板和基板，所述压印模板设置在所述分隔模与所述基板之间，所述第二腔室处于真空状态。当所述第一腔室的气体压强大于所述第二腔室的气体压强时，所述分隔膜向下凹陷以推动所述压印模板与所述基板接触，所述压印模板在所述分隔膜的推动下对所述基板进行压印处理。本发明提供的压印技术降低了气泡缺陷率低，提高了大面积施压的均匀性，使得大面积纳米压印技术成为可能。

主权项

1.一种压印装置，其特征在于，包括压印腔体和底座，所述压印腔体与所述底座相互配合形成压印腔室，所述压印腔室之内设置有分隔膜，所述分隔膜将所述压印腔室分隔成第一腔室和第二腔室，所述第一腔室位于所述第二腔室的上方，所述第二腔室之内设置有压印模板和基板，所述压印模板设置在所述分隔模与所述基板之间，所述第二腔室处于真空状态；所述分隔膜用于当所述第一腔室的气体压强大于所述第二腔室的气体压强时向下凹陷，以推动所述压印模板与所述基板接触；所述压印模板用于在所述分隔膜的推动下对所述基板进行压印处理；所述基板设置在所述底座上，所述底座上设置有多个升降杆，所述升降杆设置在所述基板的外围，所述压印模板通过弹性部件与所述升降杆连接。