[发明专利]预烘烤设备有效
申请号: | 201610664069.3 | 申请日: | 2016-08-12 |
公开(公告)号: | CN106054541B | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 徐涛;祖伟 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/38 | 分类号: | G03F7/38 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 袁江龙 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种预烘烤设备,该预烘烤设备包括热板、承托装置以及补偿装置,其中,热板设有多个通孔,热板用于承载玻璃基板并对玻璃基板进行加热;承托装置用于穿过多个通孔以举托玻璃基板并将玻璃基板下放在热板上;补偿装置用于封闭多个通孔以使得热板对玻璃基板均匀加热。本发明提供的预烘烤设备由于设置有可封闭热板上的多个通孔的补偿装置,使得玻璃基板受热均匀,进而使得后续制程中彩膜颜色均匀。 | ||
搜索关键词: | 烘烤 设备 | ||
【主权项】:
1.一种预烘烤设备,其特征在于,所述预烘烤设备包括:热板,设有多个通孔,所述热板用于承载玻璃基板并对所述玻璃基板进行加热;承托装置,用于穿过所述多个通孔以举托所述玻璃基板并将所述玻璃基板下放在所述热板上;补偿装置,用于封闭所述多个通孔以使得所述热板对所述玻璃基板均匀加热;所述承托装置包括底板和垂直设于所述底板上的多个承托柱,所述承托装置通过所述多个承托柱穿过所述多个通孔以举托所述玻璃基板,所述承托柱的直径小于所述通孔的直径以使得所述承托柱的表面与所述通孔的孔壁间隔;所述补偿装置包括多个板体和多个垂直于所述板体下的撑杆,所述多个板体与所述多个通孔相适配,所述承托装置将所述玻璃基板下放于所述热板上后下降并平移开,所述补偿装置平移至所述通孔下方并上升使得所述多个板体封闭所述多个通孔;或者所述补偿装置为活动性设于所述承托柱上的活动板,所述多个承托柱穿过所述多个通孔以举托所述玻璃基板时,所述活动板下降至所述承托柱的下侧,所述承托柱将所述玻璃基板下放于所述热板上时,所述活动板上升至所述承托柱的端部并将所述通孔封闭。
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