[发明专利]基于电子动态调控激光加工半导体双级表面结构的方法在审
| 申请号： | 201610652679.1 | 申请日： | 2016-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN106216833A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;孟革;李欣;许永达 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/70;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于电子动态调控激光加工半导体双级表面结构的方法，属于飞秒激光应用技术领域。本发明在水辅助的条件下，通过设计时域整形脉冲序列，以调节局域瞬时电子密度和电子温度，改变材料相变过程，从而获得了微纳复合双级结构。相比传统的多级结构加工方法，时域整形脉冲序列加工半导体多级结构具有周期短、成本低、重复性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电子 动态 调控 激光 加工 半导体 表面 结构 方法 | ||
【主权项】：
基于电子动态调控激光加工半导体双级表面结构的方法，其特征在于：通过将中心波长为800nm的飞秒脉冲激光进行时域整形，产生整形的飞秒激光脉冲序列，在水辅助的条件下，通过设计时域整形脉冲序列，以调节加工过程中材料表面局部瞬时电子密度和电子温度，从而改变材料相变过程，进而获得微纳复合双极结构。
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