[发明专利]一种微电极阵列的制备方法在审
| 申请号： | 201610647207.7 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN106219483A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 王哲哲;温馨;郑志强 | 申请（专利权）人： | 福建师范大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙)35214 | 代理人： | 林志峥 |
| 地址： | 350117 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及感光凝胶技术领域，特别涉及一种微电极阵列的制备方法。包括以下步骤：步骤1：将正硅酸乙酯和无水乙醇混合搅拌20‑40min，加入1,10‑菲啰啉、去离子水和盐酸，继续搅拌2‑3h，陈化24‑48h，得到二氧化硅感光溶胶；上述添加试剂的摩尔比为正硅酸乙酯：无水乙醇：1,10‑菲啰啉：去离子水：盐酸＝5:100‑200:2.5:10:1；步骤2：采用步骤1制得的二氧化硅感光溶胶在衬底制备二氧化硅感光薄膜；将掩膜版置于所述二氧化硅感光薄膜表面，在紫外光下曝光30‑60min，经无水乙醇溶洗显影后得到微电极阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电极 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微电极阵列的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将正硅酸乙酯和无水乙醇混合搅拌20‑40min，加入1,10‑菲啰啉、去离子水和盐酸，继续搅拌2‑3h，陈化24‑48h，得到二氧化硅感光溶胶；上述添加试剂的摩尔比为正硅酸乙酯：无水乙醇：1,10‑菲啰啉：去离子水：盐酸＝5:100‑200:2.5:10:1；步骤2：采用步骤1制得的二氧化硅感光溶胶在衬底制备二氧化硅感光薄膜；将掩膜版置于所述二氧化硅感光薄膜表面，在紫外光下曝光30‑60min，经无水乙醇溶洗显影后得到微电极阵列。
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