[发明专利]一种穿透式微振动空气弹簧隔振系统

摘要

本发明公开了一种穿透式微振动空气弹簧隔振系统，包括：垂直立式真空罐、内层衍架结构、高刚性环梁式台座、气浮隔振装置结构支撑部分及主体结构支撑部分。本发明通过利用柔性真空波纹管将垂直立式精密装备容器与内置工艺支撑平台分开，成为两个相对独立的支撑结构，使高刚性环梁式台座只承担垂直立式精密装备容器内部工艺结构的荷载。这种方式可以有效地对周围环境振动及动力设备振动，特别是附着在容器上的发振设备引起的机械振动进行隔离。实现在光学检测过程中，仅允许台面上出现微量的残余振动，且检测与被检设备振动相位一致，并避免由于抽真空变形和低温变形引入的对准误差。

主权项

1.一种穿透式微振动空气弹簧隔振系统，其特征在于，所述系统包括：垂直立式真空罐，内部设置有内置工艺支撑平台；内层衍架结构，设置在所述垂直立式真空罐的中上部并贯穿所述垂直立式真空罐的内外部，位于所述垂直立式真空罐外的部分由内层衍架结构固定部分固定，所述垂直立式真空罐内部的内置工艺支撑平台吊挂在内层衍架结构上；高刚性环梁式台座，位于所述垂直立式真空罐的外部，所述高刚性环梁式台座与所述内层衍架结构位于所述垂直立式真空罐外的部分之间沿圆周设置有多个柔性波纹管；气浮隔振装置结构支撑部分，位于所述垂直立式真空罐的下部外侧，所述气浮隔振装置结构支撑部分与所述高刚性环梁式台座之间与所述多个柔性波纹管相对应的位置上设置有多个空气弹簧；及主体结构支撑部分，位于所述垂直立式真空罐的下面并支撑所述垂直立式真空罐。