[发明专利]一种应用于晶圆片涂胶清洗设备的除水雾装置

摘要

本发明公开了一种应用于晶圆片涂胶清洗设备的除水雾装置，晶圆片涂胶清洗设备具有密闭的工作空间，为带上盖的箱体；除水雾装置包括置于箱体内的主动辊轴、从动辊轴、传送带、挤压辊，主动辊轴和从动辊轴通过轴承座平行安装在上盖上，传送带的外表面粘结有吸水层形成为复合带，复合带外缠在主、从动辊轴上，由主、从动辊轴紧绷，构成类皮带输送线结构；挤压辊通过轴承座安装在上盖上，并平行置于从动辊轴的旁边，该挤压辊与从动辊轴之间保持有挤压间隙，挤压间隙的宽度小于复合带厚度，经挤压间隙挤压出来的水不会滴落在晶圆片上。本发明可吸附上升的水雾及上盖滴落下来的水滴，并在吸水层未达到饱和前将水挤压出去，避免污染晶圆片表面。

主权项

1.一种应用于晶圆片涂胶清洗设备的除水雾装置，所述晶圆片涂胶清洗设备具有密闭的工作空间，为带有上盖的箱体；其特征在于：所述除水雾装置包括有分别置于该箱体内的主动辊轴、从动辊轴、传送带、挤压辊，所述主动辊轴和从动辊轴通过轴承座分别安装在上盖上，位于晶圆片的上方，且该主动辊轴和从动辊轴相互平行并保持间距，所述传送带的外表面粘结有一层吸水层形成为一复合带，所述复合带的面积大于晶圆片的面积，该复合带外缠在主、从动辊轴上，由主、从动辊轴紧绷，能够吸附上升的水雾及上盖滴落下来的凝结水滴，避免污染晶圆片表面，该复合带、主动辊轴、从动辊轴构成类皮带输送线结构，主动辊轴由动力源驱动，经复合带来带动从动辊轴转动；所述挤压辊通过轴承座安装在上盖上，并平行置于从动辊轴的旁边，该挤压辊与从动辊轴之间保持有挤压间隙，所述挤压间隙的宽度小于复合带的厚度，且经挤压间隙挤压出来的水不会滴落在晶圆片上。