[发明专利]一种制备高性能AZO透明导电薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种制备高性能AZO透明导电薄膜的方法。分为前驱体溶胶的配制、旋涂法制备薄膜、真空退火反溅清洗三大步骤。第一步，将一定量的二水合乙酸锌溶解在乙二醇甲醚或乙二醇乙醚等溶剂中，随后向溶液加入稳定剂单乙醇胺，掺杂离子九水硝酸铝，水浴搅拌，室温下陈化得到均一稳定的前驱体溶胶。第二步，采用溶胶凝胶旋涂法在玻璃片、石英、硅等基片上旋涂沉积前驱体湿凝胶，经干燥、低温热处理，得到一定厚度的AZO薄膜。第三步，将AZO薄膜先在中真空度条件下退火处理，随后以Ar+对薄膜表面进行反溅清洗。经过以上三个步骤，即可获得电阻率极低、可见光及近紫外光透过率很高的AZO透明导电薄膜。

主权项

一种制备高性能AZO透明导电薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)前驱体溶胶的制备：将二水合乙酸锌溶解在溶剂中，使锌离子的摩尔浓度为0.2‑1mol/L，在25‑40℃条件下搅拌至溶解后，向溶液中依次加入稳定剂和九水硝酸铝，按摩尔比，Al3+:Zn2+＝0.01‑0.05:1，将混合溶液在70‑80℃的水浴中恒温搅拌3‑4h，所得混合溶液在室温下陈化20‑24h，得到前驱体溶胶；2)AZO薄膜的制备：将步骤1)得到的前驱体溶胶，使用旋涂法在基片上制备AZO凝胶薄膜，将得到的AZO凝胶薄膜在空气中，90‑110℃条件下干燥5‑15分钟；接着在空气中，400‑450℃条件下热处理10‑20分钟，得到AZO薄膜；3)AZO薄膜的退火及Ar+反溅清洗：将步骤2)得到的AZO薄膜，放入磁控溅射系统的进样室中，在真空度为1‑300Pa，400‑600℃条件下退火处理2‑3h，进样室自然冷却至室温后，向进样室中通入反溅清洗气体，1Pa下反溅清洗。