[发明专利]一种用于准分子激光的双波长增透膜以及光学膜厚监控系统

摘要

本发明公开了一种用于准分子激光的双波长增透膜以及用于制备该增透膜的光学膜厚监控系统，以应用于深紫外193nm、248nm兼容的准分子激光仪。一种用于准分子激光的双波长增透膜，包括基底以及依次设置在所述基底上由高折射率膜和低折射率膜交替构成的多层膜；高折射率膜为氟化镧，所述的低折射率膜为氟化镁；多层膜的层数为4～10层。一种光学膜厚监控系统，包括电子束蒸发源、热阻蒸发源、被镀基底，所述的电子束蒸发源和热阻蒸发源与被镀基底之间设有挡板。本发明的用于深紫外准分子激光的双波长增透膜，不仅波长193nm和248nm具有非常低的基底表面的残余反射率，而且具有最低的吸收散射损耗。

主权项

一种用于准分子激光的双波长增透膜，其特征在于，包括基底以及依次设置在所述基底上由高折射率膜和低折射率膜交替构成的多层膜；所述的高折射率膜为氟化镧，所述的低折射率膜为氟化镁；所述的多层膜的层数为4～10层。