[发明专利]一种离轴三反非球面光学系统共基准检测与加工方法在审
| 申请号： | 201610619953.5 | 申请日： | 2016-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN106225712A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 张学军;王孝坤;薛栋林;郑立功;张峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心11120 | 代理人： | 李爱英;仇蕾安 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种离轴三反非球面光学系统共基准检测与加工方法，一、分别对主反射镜和第三反射镜进行加工直至各单镜全口径干涉检测面形的RMS值均优于1/10λ，λ为激光干涉仪工作波长；二、根据设计参数，设计并加工用于固定主反射镜和第三反射镜的一体化背板；三、将主反射镜和第三反射镜固定安装在一体化背板上，并对其进行共基准检测分别得到主反射镜和第三反射镜的面形；四、基于共基准检测所得的主反射镜和第三反射镜的面形，将固定于一体化背板的主反射镜和第三反射镜根据设计要求进行离子束加工；五、对离子束加工后的主反射镜和第三反射镜进行共基准检测，直至满足设计要求。本发明避免了离轴三反非球面光学系统繁琐的装调过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离轴三反非 球面 光学系统 基准 检测 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种离轴三反非球面光学系统共基准检测与加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、单镜加工与检测分别对主反射镜和第三反射镜进行加工直至各单镜全口径干涉检测面形的RMS值均优于1/10λ，λ为激光干涉仪工作波长；步骤二、背板一体化设计和制作根据设计参数，设计并加工用于固定主反射镜和第三反射镜的一体化背板；步骤三、共基准装调与检测将主反射镜和第三反射镜固定安装在一体化背板上，并对其进行共基准检测分别得到主反射镜和第三反射镜的面形；步骤四、共基准离子束加工基于共基准检测所得的主反射镜和第三反射镜的面形，将固定于一体化背板的主反射镜和第三反射镜根据设计要求进行离子束加工；步骤五、共基准检测对离子束加工后的主反射镜和第三反射镜进行共基准检测，直至满足设计要求，完成加工与检测。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610619953.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
