[发明专利]探针单元、阵列基板的检测设备及检测方法有效
申请号: | 201610587484.3 | 申请日: | 2016-07-22 |
公开(公告)号: | CN106019654B | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 刘海峰;张涛;尚浩;王备 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01R1/067;G01R1/073 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 胡萌 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种探针单元、阵列基板的检测设备及检测方法,涉及显示技术领域,能够解决现有的阵列基板的检测设备适用范围窄的问题,降低检测成本。其中所述探针单元包括M个探针,用于输出不同检测信号的N个检测信号端,及多个控制开关,所述多个控制开关分成M组,每组包括N个控制开关,M组控制开关一一对应地控制所述M个探针,每组的N个控制开关均与对应的探针电连接,且每组的N个控制开关一一对应地与所述N个检测信号端电连接;其中,M≥2,且N≥2。上述探针单元用于对阵列基板进行检测。 | ||
搜索关键词: | 探针 单元 阵列 检测 设备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种探针单元,用于阵列基板的检测设备中,包括M个探针,及用于输出不同检测信号的N个检测信号端,其特征在于,所述探针单元还包括多个控制开关,所述多个控制开关分成M组,每组包括N个控制开关,M组控制开关一一对应地控制所述M个探针,每组的N个控制开关均与对应的探针电连接,且每组的N个控制开关一一对应地与所述N个检测信号端电连接;其中,M≥2,且N≥2。
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