[发明专利]一种层数可控的二硫化钼TEM样品的制备方法在审

专利信息
申请号: 201610573605.9 申请日: 2016-07-20
公开(公告)号: CN106289898A 公开(公告)日: 2017-01-04
发明(设计)人: 吴幸;骆晨 申请(专利权)人: 华东师范大学
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28
代理公司: 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙)31257 代理人: 董红曼
地址: 200062 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种层数可控的制备二硫化钼TEM样品的方法,包括:(1)机械剥离,从二硫化钼材料表面撕离一块二硫化钼薄片,多次粘合分离直至样品较为密集;(2)转移样品,裁出一块硅片,将上述胶带对着硅片抛光面贴上,然后将胶带撕下;(3)光镜观察,通过AFM精确判断该二硫化钼薄片的层数;(4)在光镜下找到薄区后,将微栅盖在薄区上,滴加异丙醇,使得薄片与碳膜充分结合;(5)向上述微栅上滴加氢氧化钾溶液刻蚀硅片;(6)将上述微栅置入去离子水中溶解;(7)将上述微栅转移到异丙醇溶液中浸泡;(8)将上述微栅晾干,即得所述层数可控的二硫化钼TEM样品。本发明的方法简单,制备的二硫化钼TEM样品层数可控、时间短、效率高、无污染。
搜索关键词: 一种 层数 可控 二硫化钼 tem 样品 制备 方法
【主权项】:
一种层数可控的二硫化钼TEM样品的制备方法,其特征在于,包括:(1)机械剥离,用胶带从二硫化钼材料表面撕离一块二硫化钼薄片,然后多次粘合分离直至胶带上样品较为密集;(2)转移样品,用金刚石刀裁出一块大小与步骤(1)使用的胶带大小相近或相同的硅片,将完成步骤(1)的胶带有样品的一面对着硅片抛光面贴上,然后将胶带撕下;(3)光镜观察,将完成步骤(2)的硅片置于光镜下观察,寻找最接近硅片基底颜色的薄片并通过原子力显微镜(AFM)精确判断该二硫化钼薄片的层数;(4)在光镜下找到薄区后,将微栅盖在薄区上,碳膜的一面朝下与薄片接触,滴加异丙醇,使得薄片与碳膜充分结合;(5)向完成步骤(4)的微栅上滴加氢氧化钾溶液刻蚀硅片,使二硫化钼薄片脱离二氧化硅基底,浮上氢氧化钾溶液表面;(6)将完成步骤(5)的微栅置入去离子水中溶解;(7)从完成步骤(6)的微栅转移到异丙醇溶液中浸泡;(8)将完成步骤(7)的微栅捞出后晾干,即得所述层数可控的二硫化钼TEM样品。
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