[发明专利]柔性阵列基板及其制备方法、柔性显示装置有效
申请号: | 201610572816.0 | 申请日: | 2016-07-20 |
公开(公告)号: | CN106169481B | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 秦芳 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;黄进 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性阵列基板,包括柔性基底以及柔性基底上的缓冲层,所述缓冲层上阵列设置有多个薄膜晶体管,所述薄膜晶体管上设置有层间介质层,所述层间介质层覆盖所述缓冲层;其中,所述层间介质层和所述缓冲层之间设置有互联结构件,每一列所述薄膜晶体管的两侧分别设置有至少一个所述互联结构件,所述互联结构件朝向平行于所述柔性阵列基板的弯曲轴的方向延伸。本发明还公开了如上所述柔性阵列基板的制备方法以及包含该柔性阵列基板的柔性显示装置。本发明通过设置互联结构件,增强了柔性阵列基板中互联结构层的联结性能,改善了互联结构层发生脱落或破裂的问题,提高柔性阵列基板的品质。 | ||
搜索关键词: | 柔性 阵列 及其 制备 方法 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种柔性阵列基板,包括柔性基底以及柔性基底上的缓冲层,所述缓冲层上阵列设置有多个薄膜晶体管,所述薄膜晶体管上设置有层间介质层,所述层间介质层覆盖所述缓冲层;其特征在于,所述层间介质层和所述缓冲层之间设置有互联结构件,每一列所述薄膜晶体管的两侧分别设置有至少一个所述互联结构件,所述互联结构件朝向平行于所述柔性阵列基板的弯曲轴的方向延伸;所述互联结构件包括沿其长度方向上交替间隔排布的多个第一结构部和多个第二结构部;所述第一结构部为长度数倍大于宽度的条状结构,所述第二结构部为长度与宽度相等或近于相等的点状结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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