[发明专利]半导体设备工艺运行状态的管理及管理装置有效
| 申请号： | 201610564980.7 | 申请日： | 2016-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN106125682B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 周法福 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体设备工艺运行状态的管理方法，包括：根据半导体工艺流程创建工艺运行状态队列、事件列表和转换函数；根据上述工艺运行状态队列、事件列表和转换函数生成二维状态转换表；对所述二维状态转换表逐行或逐列查询，依次生成多个状态源临时管理文件，每一所述状态源临时管理文件记录一个所述工艺运行状态，其配置的一个所述转换事件，以及所述工艺运行状态经该转换事件后的状态结果；以及将全部所述状态源临时管理文件合并生成动态配置管理文件。本发明能够解决特定工艺和异常处理等状态转换效率低下和逻辑复杂造成的成功率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 工艺 运行 状态 管理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体设备工艺运行状态的管理方法，其特征在于，包括：根据半导体工艺流程创建工艺运行状态队列、事件列表和转换函数，其中所述工艺运行状态队列包括半导体设备的多个工艺运行状态，所述事件列表包括使所述多个工艺运行状态发生状态转换的多个转换事件，每一所述工艺运行状态配置一个或多个所述转换事件；所述转换函数用于表示所述工艺运行状态经过所述转换事件后的状态结果；根据上述工艺运行状态队列、事件列表和转换函数生成二维状态转换表；对所述二维状态转换表逐行或逐列查询，依次生成多个状态源临时管理文件，每一所述状态源临时管理文件记录一个所述工艺运行状态，其配置的一个所述转换事件，以及所述工艺运行状态经该转换事件后的状态结果；以及将全部所述状态源临时管理文件合并生成动态配置管理文件。
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