[发明专利]一种测量透明微球内混合气体压强的装置和方法有效
| 申请号： | 201610547854.0 | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN106052947B | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 王宗伟;马小军;孟婕;王琦;陈雪;叶成钢;唐兴;高党忠 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量透明微球内混合气体压强的装置和方法，所述的装置和方法是通过光学干涉测量得到微球的径向膨胀增量，通过压强平衡计算混合气体气压，实现了微球内任意组分混合气体压强的快速、无损和精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 透明 微球内 混合气体 压强 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量透明微球内混合气体压强的装置，其特征在于，所述的装置包括干涉光路、反光板(10)、五轴位移台(11)、计算机(14)、图像采集卡(15)和五轴位移台控制器(16)；所述的干涉光路包括面阵探测器(1)、聚光镜(2)、分光镜Ⅰ(3)、透镜(4)、点光源(5)、分光镜Ⅱ(6)、物镜Ⅰ(7)、物镜Ⅱ(12)、反射镜(13)；所述的点光源(5)发射的光线通过透镜(4)入射至分光镜Ⅰ(3)，在分光镜Ⅰ(3)处反射，再由分光镜Ⅱ(6)分为参考光和测量光，其中参考光被分光镜Ⅱ(6)反射后经物镜Ⅱ(12)聚焦到反射镜(13)，测量光在分光镜Ⅱ(6)处透射后经物镜Ⅰ(7)聚焦到微球(8)，反射镜(13)和微球(8)分别返回的光在分光镜Ⅱ(6)汇合并发生干涉形成干涉光，干涉光经分光镜Ⅰ(3)透射至聚光镜(2)并聚焦至面阵探测器(1)形成干涉图像，干涉图像通过图像采集卡(15)传输至计算机(14)；所述的五轴位移台(11)上固定有反光板(10)，反光板(10)上放置微球(8)，五轴位移台控制器(16)控制五轴位移台(11)带动反光板(10)运动，图像采集卡(15)控制面阵探测器(1)采集图像。
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