[发明专利]一种全自动植球装置及其应用

摘要

本发明涉及一种全自动植球装置及其应用，该装置包括供球机构、植球网板(5)及六轴机械手(7)，供球机构包括供球盒(4)、供球管(1)、供球气缸(2)及直线模组(8)，供球盒(4)架设在直线模组(8)上，与供球管(1)连通，供球气缸(2)开闭动作使供球盒(4)中的焊锡球通过供球管(1)均匀分布在植球网板(5)的一侧，植球网板(5)上加工与晶圆PAD点相对应、用于锡球漏入的网孔，六轴机械手(7)固定在植球网板(5)旁侧。与现有技术相比，本发明具有提升效率、结构简单等优点。

主权项

1.一种全自动植球装置的应用，其特征在于，全自动植球装置包括供球机构、植球网板(5)及六轴机械手(7)，所述的供球机构包括供球盒(4)、供球管(1)、供球气缸(2)及直线模组(8)，所述的供球盒(4)架设在直线模组(8)上，与供球管(1)连通，所述的供球气缸(2)开闭动作使供球盒(4)中的焊锡球通过供球管(1)均匀分布在植球网板(5)的一侧，所述的植球网板(5)上加工与晶圆PAD点相对应、用于焊锡球漏入的网孔，所述的六轴机械手(7)固定在植球网板(5)旁侧，通过植球刮板(6)沿设定路径将供球机构供应的焊锡球通过植球网板(5)植到晶圆上，全自动植球装置应用时采用以下步骤：(a)晶圆经由晶圆搬送机构传送到植球网板(5)下方，对位调整后上升吸附住植球网板(5)，六轴机械手(7)处于待机避让位置；(b)供球管(1)初始为弯曲状态，电磁阀控制供球气缸(2)动作，驱动供球盒(4)沿Z向上升，供球管(1)由弯曲状态被拉直，供球盒(4)中的焊锡球在自身重力的作用下经由供球管(1)落入植球网板(5)的前侧，直线模组(8)驱动供球盒(4)和供球管(1)来回动作，使焊锡球均匀地分布在植球网板(5)的前侧；(c)焊锡球供给完成后，电磁阀控制供球气缸(2)沿Z向下降到初始位置，供球管(1)弯折，焊锡球无法从供球管(1)中流出，以停止供应焊锡球，供球机构停在避让待机位置；(d)六轴机械手(7)带动植球刮板(6)移动到植球初始位置，将供球机构供应的焊锡球按照规划的动作路径进行植球。