[发明专利]一种转移石墨烯的方法在审
| 申请号： | 201610543534.8 | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN106185900A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 陈吉;吴天如;王浩敏;谢晓明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种转移石墨烯的方法，包括以下步骤：提供位于第一衬底上的石墨烯；在所述石墨烯上覆盖缓冲层；在所述缓冲层上粘附热释放胶带；利用腐蚀液浸泡去除所述石墨烯下方的所述第一衬底；将去除了所述第一衬底的所述石墨烯覆盖到目标衬底上；加热使所述热释放胶带失去粘性，然后揭去所述热释放胶带；利用溶解液浸泡去除所述石墨烯上方的缓冲层，得到位于所述目标衬底上的石墨烯，完成所述石墨烯的转移。本发明利用缓冲层辅助转移石墨烯，所需要的步骤少、程序快速便捷，石墨烯的上下表面干净且无吸附物，降低微观尺寸的褶皱，提高石墨烯的有效使用面积，为后期制备石墨烯的电子器件奠定了良好的基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转移 石墨 方法 | ||
【主权项】：
一种转移石墨烯的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1提供位于第一衬底上的石墨烯；S2在所述石墨烯上覆盖缓冲层；S3在所述缓冲层上粘附热释放胶带；S4利用腐蚀液浸泡去除所述石墨烯下方的所述第一衬底；S5将去除了所述第一衬底的所述石墨烯覆盖到目标衬底上；S6加热使所述热释放胶带失去粘性，然后揭去所述热释放胶带；S7利用溶解液浸泡去除所述石墨烯上方的缓冲层，得到位于所述目标衬底上的石墨烯，完成所述石墨烯的转移。
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