[发明专利]防尘薄膜组件收纳容器以及防尘薄膜组件的取出方法有效
| 申请号： | 201610537309.3 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN106353967B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 关原一敏 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F1/66 | 分类号： | G03F1/66 |
| 代理公司： | 11280 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡强<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种适于容易化和量产化制造的结构简易的、并且在盖体在容器本体上嵌合的状态下，也可以进行针的嵌合和/或解除的防尘薄膜组件收纳容器。该防尘薄膜组件收纳容器包括收纳防尘薄膜组件的容器本体，在其上嵌合有止动的盖体，其中，容器本体上载置水平方向可动的先端部插入防尘薄膜组件框架侧面上设置的凹部的针和对该针加以固定的针支持装置，在盖体中设置贯通至容器本体内部的开口部，另外，所述针设置从针本体向盖体的开口部的方向延伸的针操作部，该针操作部与其上端部为了将开口部进行密封而贴附的粘着片而被接着固定。 | ||
| 搜索关键词： | 防尘 薄膜 组件 收纳 容器 以及 取出 方法 | ||
【主权项】：
1.一种防尘薄膜组件收纳容器，包括：收纳防尘薄膜组件的容器本体和覆盖所述容器本体并在其周缘部嵌合止动的盖体，其特征在于，在所述容器本体上载置有具有嵌入弹性体的台阶部的、水平方向可动、比所述弹性体位于前面的的先端部插入防尘薄膜组件框架侧面设置的凹部的针和对所述针进行固定的针支持装置，在所述盖体中设置贯通到所述容器本体内部的开口部，在所述针中设置沿着针轴部垂直且从针本体向上方延伸至所述盖体的开口部的针操作部，所述针操作部与在其上端部为了将所述开口部密闭而贴附的粘着片接触而被接着固定。/n
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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