[发明专利]一种柔性压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201610528645.1 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106197772B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 王炜;谭化兵;季恒星 | 申请（专利权）人： | 无锡第六元素电子薄膜科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 11686 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 肖淑芳 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性压力传感器，包括感应层、衬底层、隔离层和电极，所述隔离层位于感应层与衬底层中间，与感应层、衬底层贴合在一起，将感应层与衬底层之间的电接触呈间断性的隔离；所述感应层的表面设有第一导电层，所述衬底层表面设有第二导电层，所述第一导电层与第二导电层相向的与隔离层贴合；所述电极从第一导电层或第二导电层上引出，与外置电路连接。本发明柔性压力传感器，用于检测压力的大小和波动，为将特定衬底上的柔性导电材料，与其他导电衬底贴合在一起，并引出电极，测量电极间电阻的变化，从而间接检测压力的大小和波动。实现了高灵敏度、高可靠性的可应用于柔性受力基体上的压力传感器，本发明采用的工艺简单，可以很方便的兼容现有电阻屏的加工工艺，易于实现规模化生产和应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性压力传感器，其特征在于：包括感应层、衬底层、隔离层和电极，所述隔离层位于感应层与衬底层中间，与感应层、衬底层贴合在一起，将感应层与衬底层之间的电接触呈间断性的隔离；所述感应层的表面设有第一导电层，所述衬底层表面设有第二导电层，所述第一导电层与第二导电层相向的与隔离层贴合；所述电极从第一导电层或第二导电层上引出，与外置电路连接，所述第一导电层或第二导电层均为石墨烯薄膜，所述感应层中第一导电层的背面为膜状或片状弹性基材，所述弹性基材的厚度为0.1-2mm，所述衬底层为柔性基材，所述柔性基材的厚度为1μm-10mm，所述隔离层由厚度为100nm-1mm的离散的点组成，相邻的两个点的平均间距为1μm-100μm，且所述离散点为粒径为3±0.5μm的二氧化硅球或者圆柱高度为1±0.1μm、直径为1±0.1μm的UV固化树脂。/n
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