[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体

摘要

本发明提供一种物理量的检测精度优良的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有元件片(4),元件片(4)具有：支承部(41)，其具备第一支承部(411)、第二支承部(412)以及对第一、第二支承部(411、412)进行连结的第三支承部(413)，并且通过第三支承部(413)而与底基板(2)连接；可动电极部(42)，其位于第一、第二支承部(411、412)之间并具有可动电极指(422)；弹性部(43)，其对可动电极部(42)和支承部(41)进行连结并具有弹性；固定电极部(48、49)，其具有与可动电极指(422)对置配置的固定电极指(483、493)。

主权项

一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；元件片，其被接合在所述基板上；所述元件片具有：支承部，其具备第一支承部、在第一方向上与所述第一支承部分离配置的第二支承部、对所述第一支承部和所述第二支承部进行连结的第三支承部，并且通过所述第三支承部而与所述基板连接；可动电极部，其位于所述第一支承部与所述第二支承部之间，且在与所述第一方向正交的第二方向上和所述第三支承部并排配置，并且具有可动电极指；弹性部，其具有第一弹性部和第二弹性部，并且能够使所述可动电极部相对于所述支承部而在所述第一方向上进行位移，其中，所述第一弹性部位于所述可动电极部与所述第一支承部之间，并对所述可动电极部和所述第一支承部进行连结，所述第二弹性部位于所述可动电极部与所述第二支承部之间，并对所述可动电极部和所述第二支承部进行连结；固定电极部，其与所述基板连接，并且具有与所述可动电极指对置配置的固定电极指。