[发明专利]涂覆剂及利用该涂覆剂的涂层的形成方法

摘要

本发明涉及一种涂覆组合物及利用该涂覆组合物的涂膜的形成方法。更详细地，涉及一种在加工如体半导体晶圆或钢化玻璃的对象物时，临时涂覆于表面而保护表面，并且在加工后容易剥离的液态的涂覆组合物、利用该涂覆组合物形成的涂膜、该涂膜的制造方法及利用所述涂覆组合物的半导体芯片的制造工艺。

主权项

1.一种用于加工半导体芯片的液态涂覆组合物，其中，所述组合物满足下述关系式1并且包含具有牛顿流体特性的聚氯乙烯类树脂浆体和增塑剂，[关系式1]5×10²≤G′100/G′70≤10³在关系式1中，G′100和G′70分别表示在100℃和70℃的温度下的储能模量。