[发明专利]一种用于氮化铝单晶生长的钽金属件碳化方法在审
| 申请号： | 201610509503.0 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106087062A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 程章勇 | 申请（专利权）人： | 北京华进创威电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B23/00;C01B31/30 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 马知非;沈耀冲 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于氮化铝单晶生长的钽金属件碳化方法，所述碳化方法包括如下步骤：1)碳化钽件的清洗：对碳化钽件进行清洗；2)裁剪碳毡片：依据碳化钽件的几何外形以及尺寸大小，将碳毡裁剪成设定形状的碳毡；3)组装：将裁剪好的碳毡、碳粉、碳化钽件层叠有秩地放置在加热筒内；4)碳化：对加热筒进行加热，以完成对碳化钽件的碳化；5)取出碳化钽件并清洗：从发热筒内取出碳化钽件并进行清洗；6)将步骤5)中清洗后的碳化钽件干燥后储藏备用。本申请的碳化方法能够充分利用发热筒内的容量空间，提高了空间利用率，切实有效地减少了能源浪费，且碳化钽件的碳化非常均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氮化 铝单晶 生长 金属件 碳化 方法 | ||
【主权项】：
一种用于氮化铝单晶生长的钽金属件碳化方法，其特征在于，所述碳化方法包括如下步骤：1)钽金属件的清洗：对钽金属件进行清洗；2)裁剪碳毡片：依据钽金属件的几何外形以及尺寸大小，将碳毡裁剪成设定形状的碳毡；3)组装：将裁剪好的碳毡、碳粉、钽金属件层叠有秩地放置在加热筒内；4)碳化：对加热筒进行加热，以完成对钽金属件的碳化；5)取出碳化钽件并清洗：从发热筒内取出碳化钽件并进行清洗；6)将步骤5)中清洗后的碳化钽件干燥后储藏备用。
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