[发明专利]被动式MEMS流致振动强化传热装置及其传热方法有效
| 申请号： | 201610508056.7 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN106206490B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 吴昌聚;邱云龙;陈伟芳 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;B81B3/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种被动式MEMS流致振动强化传热装置及其传热方法。通过合理的结构设计，使得在热沉温度升高时，固定在热沉上的悬臂梁结构能够产生远离热沉的偏转运动，并且偏转的角度随着热沉温度的升高而升高。当悬臂梁结构的偏转角增大时，其长度方向与来流速度方向的夹角也相应增大，这使得悬臂梁振动部分的振动更加剧烈，从而对悬臂梁附近的流场产生更大的扰动，破坏了热边界层的形成，最终实现传热的强化。这种强化传热装置不需要人工控制，也不需要外界输入能量，能够自动根据热沉温度调节散热强度，这为解决现代电子器件的高热流密度问题提供了新的途径。 | ||
| 搜索关键词： | 热沉 强化传热装置 传热 悬臂梁结构 流致振动 被动式 悬臂梁 升高 偏转 电子器件 密度问题 偏转运动 热边界层 人工控制 输入能量 温度调节 高热流 偏转角 扰动 散热 流场 | ||
【主权项】：
1.一种被动式MEMS流致振动强化传热装置，其特征在于：它包括热沉基座（1）、填充材料（2）、梳齿状结构（3）、振动部分（4）；热沉基座（1）与电子器件的发热部分通过导热管相连接，能够吸收电子器件发出的热量，使自身的温度升高；驱动部分由梳齿状结构（3）和填充在齿间的填充材料（2）构成；梳齿状结构（3）连接着热沉基座（1）；振动部分（4）是梳齿状结构（3）顶部薄层的延伸段，与梳齿状结构（3）、填充材料（2）一同构成悬臂梁结构（5）；填充材料（2）的热膨胀系数大于梳齿状结构（3）的热膨胀系数，从而使驱动部分具备双金属片效应。
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