[发明专利]一种快速热氧化方法制备的相变二氧化钒薄膜在审
| 申请号： | 201610507358.2 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106119973A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 华平壤;陈朝夕 | 申请（专利权）人： | 派尼尔科技（天津）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;H05B3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区开发*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明专利公开了一种快速热氧化方法制备的相变二氧化钒薄膜，包括导气直管、隔热盖、内罐、支撑罐、均热罐和加热圈，均热罐和加热圈安装在支撑罐内且三者的竖直中心线在同一直线上，加热圈处于均热罐和支撑罐之间，内罐插入到均热罐内且其上端通过其上挡圈安装在支撑罐外，隔热盖安装在支撑罐上且其中心线与内罐的中心线处于同一竖直直线上，导气直管穿过隔热盖并固定安装在内罐上端。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 氧化 方法 制备 相变 薄膜 | ||
【主权项】：
一种快速热氧化方法制备的相变二氧化钒薄膜，其特征在于：包括导气直管、隔热盖、内罐、支撑罐、均热罐和加热圈，所述均热罐和所述加热圈安装在所述支撑罐内且三者的竖直中心线在同一直线上，所述加热圈处于所述均热罐和所述支撑罐之间，所述内罐插入到所述均热罐内且其上端通过其上挡圈安装在所述支撑罐外，所述隔热盖安装在所述支撑罐上且其中心线与所述内罐的中心线处于同一竖直直线上，所述导气直管穿过所述隔热盖并固定安装在所述内罐上端。
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