[发明专利]一种基于SOI的Si-PLZT异质结结构的混合型电光环形调制器有效
| 申请号： | 201610490158.0 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN105954892B | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 胡国华;戚志鹏;刘畅;李磊;恽斌峰;张若虎;崔一平 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035;G02F1/055 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于SOI的Si‑PLZT异质结结构的混合型电光环形调制器，包括硅矩形平板直波导和硅矩形平板环形波导，硅矩形平板直波导和硅矩形平板环形波导相耦合，硅矩形平板直波导作为该混合型电光环形调制器的直通端，硅矩形平板环形波导作为该混合型电光环形调制器的谐振环；硅矩形平板直波导和硅矩形平板环形波导通过一个PLZT矩形通道完全包覆住，形成Si‑PLZT混合型结构；在环形波导部分的内外两侧设置有一对半包裹型的弯曲共面行波电极对，通过弯曲共面行波电极对该混合型电光环形调制器进行加电调制，使PLZT矩形通道的折射率发生变化。本发明具有调制灵敏度高、器件尺寸小、可靠性好以及调制带宽大等特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 soi si plzt 异质结 结构 混合 电光 环形 调制器 | ||
【主权项】：
1.一种基于SOI的Si‑PLZT异质结结构的混合型电光环形调制器，包括制作在SOI基片顶层硅(6)表面上的硅矩形平板直波导(1)和硅矩形平板环形波导(2)，硅矩形平板直波导(1)和硅矩形平板环形波导(2)相耦合，硅矩形平板直波导(1)作为该混合型电光环形调制器的直通端，硅矩形平板环形波导(2)作为该混合型电光环形调制器的谐振环；其特征在于：硅矩形平板直波导(1)和硅矩形平板环形波导(2)通过一个PLZT矩形通道(3)完全包覆住，形成Si‑PLZT混合型波导；将Si‑PLZT混合型波导分为直波导和环形波导两部分，在环形波导部分的内外两侧设置有一对半包裹型的弯曲共面行波电极对，通过弯曲共面行波电极对该混合型电光环形调制器进行加电调制，使PLZT矩形通道(3)的折射率发生变化，从而改变硅矩形平板环形波导(2)内光波的相位。
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