[发明专利]双阳极电镀装置在审

专利信息
申请号: 201610457065.8 申请日: 2016-06-22
公开(公告)号: CN107523855A 公开(公告)日: 2017-12-29
发明(设计)人: 周青松;李劲杰;万建斌;孙飞;邓克洪;曾春生 申请(专利权)人: 苏州市康普来表面处理科技有限公司
主分类号: C25D17/12 分类号: C25D17/12;C25D17/02;C25D17/00
代理公司: 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙)11468 代理人: 郭杨
地址: 215123 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种双阳极电镀装置,包括电镀槽,阳极,阴极,电源以及驱动机构,阳极和阴极设于所述电镀槽内,电源连接所述阳极和阴极,本技术方案中,还包括辅助阳极,阴极包括一中空转轴以及设于中空转轴表面的若干镀件固定结构,辅助阳极设于所述中空转轴内部并与其同轴布置,阳极设于所述阴极外侧,所述驱动机构与所述中空转轴相连以驱动阴极旋转。通过阴极中心设置一辅助阳极,在双阳极作用下,金属离子从多个方向向镀件聚集,并同时降低了离子移动速度,避免电镀液浓度变化时,金属离子大量聚集在工件同一部位,提高镀层厚度均匀性。同时阴极设置了多个镀件固定结构,可一次性完成多组工件电镀工作,电镀效率高,电镀装置利用率高,使用成本降低。
搜索关键词: 阳极 电镀 装置
【主权项】:
一种双阳极电镀装置,包括电镀槽(1),阳极,阴极(2),电源(3),以及驱动机构,所述阳极和阴极(2)设于所述电镀槽(1)内,所述电源(3)连接所述阳极和阴极(2),其特征在于还包括辅助阳极(4),所述阴极(2)包括一中空转轴(21)以及设于中空转轴(21)表面的若干镀件固定结构,所述辅助阳极(4)设于所述中空转轴(21)内部并与其同轴布置,所述阳极设于所述阴极(2)外侧,所述驱动机构与所述中空转轴(21)相连以驱动阴极(2)旋转。
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