[发明专利]接触式台阶仪探针检测图形样块

摘要

本发明公开了一种接触式台阶仪探针检测图形样块，涉及台阶仪测量技术领域，包括探针性能检查图形和扫描位置检查图形，探针性能检查图形设计成W型和M型分布在样块左右两个扫描区域，M型和W型台阶结构线条分别与水平方向呈30°、60°、90°、120°、150°五个角度，能对探针针尖十个位置进行性能检查，判断探针针尖是否有磨损或沾污；扫描位置检查图形设计为两个等腰直角三角形，斜边平行对向设置，并且每个等腰直角三角形的一个直角边与水平方向平行，在扫描位置检查图形两侧分别有T字线，用来指示探针针尖扫描位置和方向，可以判断样块放置是否水平以及探针扫描位置是否准确；可以及时校准探针，从而提高台阶仪的测量精度。

主权项

1.接触式台阶仪探针检测图形样块，包含基板(1)，其特征在于：所述基板(1)上设有探针性能检查图形(2)和扫描位置检查图形(3)；所述探针性能检查图形(2)为若干个凸台式或凹槽式台阶线段(4)，探针水平扫描方向均穿过所述线段，各线段与水平方向构成的角度为0到180°范围内组成等差系列，等差值小于45°；所述扫描位置检查图形(3)为两个凸台式或者凹槽式直角三角形(5)，两个直角三角形(5)斜边平行对向设置，且两个直角三角形中各有一条直角边平行于水平方向，还设有扫描起点指示标志(6)；所述直角三角形(5)为等腰直角三角形，所述扫描起点指示标志(6)的水平延长线经过所述等腰直角三角形中两个边的中心点。