[发明专利]光伏行业石英方坩埚喷涂机械自动化系统及工艺

摘要

本发明涉及一种光伏行业石英方坩埚喷涂机械自动化系统及工艺，该系统包括可将浆料喷涂至石英方坩埚内表面的喷枪、可夹持移动喷枪并调整其喷涂角度的机械手和可安装并旋转石英方坩埚的旋转平台，旋转平台上设有用于放置石英方坩埚的放置架及可拉动倾斜放置架使石英方坩埚开口方向与旋转平台顶面形成仰角或推动摆正放置架使石英方坩埚开口向外横向放置的伸缩装置，该工艺为将氮化硅、纯水和硅溶胶按比重1:1‑1.5：0.2‑0.5制成浆料，喷涂至石英方坩埚内表面；与现有技术相比，本发明适用于光伏行业各型号方坩埚，可连续作业，操作简便，用时短、能耗低，喷涂效率高，涂层厚薄均匀、质量稳定，坩埚喷涂后生产多晶硅锭质量更好，喷涂时工人无需接触氮化硅粉尘。

主权项

1.一种光伏行业石英方坩埚喷涂工艺，通过光伏行业石英方坩埚喷涂机械自动化系统完成，包括可将浆料喷涂至石英方坩埚内表面的喷枪(1)、可夹持移动所述喷枪(1)并调整其喷涂角度的机械手(2)和可安装并旋转石英方坩埚的旋转平台(3)，所述旋转平台(3)上设有用于放置石英方坩埚的放置架(4)以及可拉动倾斜所述放置架(4)使石英方坩埚的开口方向与旋转平台(3)顶面形成仰角或推动摆正所述放置架(4)使石英方坩埚开口向外横向放置的伸缩装置(5)，所述伸缩装置(5)拉动倾斜所述放置架(4)使石英方坩埚的开口方向与旋转平台(3)顶面形成15°‑30°的仰角，其特征在于，全程使用冷喷工艺，它包括以下步骤：A、取待喷涂的石英方坩埚，将其开口向外横向放置于所述放置架(4)中，再通过所述伸缩装置(5)拉动倾斜所述放置架(4)使石英方坩埚的开口方向与旋转平台(3)顶面形成仰角；B、按重量比1:1‑1.5：0.2‑0.5称取氮化硅、纯水和硅溶胶，搅拌均匀，得到待喷涂至石英方坩埚内表面的浆料；C、先将所述浆料填充至所述喷枪(1)中，然后通过所述旋转平台(3)的旋转控制石英方坩埚的开口朝向，再通过所述机械手(2)移动所述喷枪(1)使所述喷枪(1)的喷嘴对着石英方坩埚的开口，同时通过所述机械手(2)调节所述喷枪(1)的喷涂角度，最后通过所述喷枪(1)将所述浆料加压喷涂至石英方坩埚内表面。