[发明专利]用于大口径光学元件光学性能检测的三维平台在审

专利信息
申请号: 201610427984.0 申请日: 2016-06-16
公开(公告)号: CN106124171A 公开(公告)日: 2016-11-16
发明(设计)人: 邵建达;柯立公;徐子媛;杨留江;赵元安 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01M11/04 分类号: G01M11/04
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯;张宁展
地址: 201800 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种用于大口径光学元件光学性能检测的三维平台,包括水平移动(X轴)部分、竖直移动(Z轴)部分和水平旋转(C轴)部分。提出了一种针对不同尺寸光学元件可灵活装夹,并满足多种光学性能检测的平台设计方案。通过对机床的结构的合理布局,在最大限度预留多种光学性能检测所需要三维空间的同时,也解决了常规机械平台在光学检测领域通用性差的问题。
搜索关键词: 用于 口径 光学 元件 性能 检测 三维 平台
【主权项】:
1.一种用于大口径光学元件光学性能检测的三维平台,包括水平旋转部分C轴、竖直移动部分Z轴和水平移动平台X轴;其特征在于,所述的水平旋转部分C轴,自下而上由回转底座(1)和旋转台(2)叠加组成,所述的旋转台(2)安装于所述的回转底座(1)之上,通过所述回转底座(1)内部的电机带动齿轮齿条传动,进而带动所述的旋转台(2)以及旋转台(2)上面的结构部件旋转;所述的水平移动平台X轴包括水平载物台(3)、供大口径光学元件放置的X轴基台(4)和两根水平导轨(5)构成,两根所述的水平导轨(5)平行固定在所述的水平载物台(3)上的前后沿,所述的X轴基台(4)固定在所述的水平载物台(3)上,且位于两根水平导轨(5)之间;所述的竖直移动部分Z轴,呈左右对称结构,包括二个竖直移动机构和一个Z轴基台(10),所述的Z轴基台(10)竖直固定在所述的旋转台(2)上,两个竖直移动机构分别固定在该Z轴基台(10)的两侧边,所述的竖直移动机构由水平连接板(6)、配重块(7)、竖直侧面导轨(8)、四个滑轮(9)、竖直驱动电机(11)、竖直丝杠(12)和竖直导轨(13)组成,所述的竖直侧面导轨(8)固定在所述Z轴基台(10)的侧面,所述的竖直导轨(13)固定在所述Z轴基台(10)正面外侧,且底端通过竖直驱动电机(11)下面凹槽中的螺钉与旋转台(2)相连,所述的竖直丝杠(12)固定在所述Z轴基台(10)的正面,且位于该竖直导轨(13)的外侧,所述竖直电机(11)与所述竖直丝杠(12)末端相连接,竖直电机(11)带动竖直丝杠(12)旋转,所述的滑轮(9)安装于所述Z轴基台(10)上端的左右两边,所述的水平载物台(3)的外侧面与所述的水平连接板(6)固定连接。
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