[发明专利]一种用于电子剥离膜测试的装置及其应用有效
| 申请号： | 201610411143.0 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN105938166B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 陈佳鑫;康玲;余洁冰 | 申请（专利权）人： | 东莞中子科学中心 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 郭燕 |
| 地址： | 523808 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于电子剥离膜测试的装置及其应用。本申请的电子剥离膜测试装置，包括腔体、抽真空设备、电子剥离膜夹持组件、电子枪、第一法拉第杯和第二法拉第杯；腔体具有可开合顶盖，盖合顶盖形成密封腔体；抽真空设备为腔体抽真空；电子剥离膜夹持组件装于腔体内；电子枪装于腔体内侧壁，用于轰击待测电子剥离膜；第一法拉第杯固定在电子枪束流出口；第二法拉第杯设置在电子枪相对的腔体内侧壁上。本申请的装置，能模拟电子剥离膜工作的真空和束流注入环境；装置采用电子束流，降低了造价，降低辐射量，提高了设备安全性；能更准确掌握膜片性能，对散裂中子源的电子剥离膜选择及设计具有重要意义，降低了剥离膜研制成本，提高研制效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子 剥离 测试 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于电子剥离膜测试的装置，其特征在于：包括腔体(1)、抽真空设备、电子剥离膜夹持组件、电子枪(4)、第一法拉第杯和第二法拉第杯(52)；所述腔体(1)具有一个可开合的顶盖(11)，盖合顶盖(11)后形成封闭的密封腔体；所述抽真空设备安装于所述腔体(1)的侧壁上，用于为所述腔体(1)抽真空；所述电子剥离膜夹持组件安装于所述腔体(1)内，用于夹持待测的电子剥离膜；所述电子枪(4)安装于所述腔体(1)的内侧壁上，用于轰击待测电子剥离膜；所述第一法拉第杯和第二法拉第杯(52)同样安装于腔体(1)的内侧壁上，并且，第一法拉第杯固定在所述电子枪(4)的束流出口，用于测定入射电子剥离膜的粒子数量；所述第二法拉第杯(52)设置在电子枪(4)相对的侧壁上，用于测定穿越电子剥离膜后的粒子数量，从而计算出电子剥离膜的剥离效率。
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