[发明专利]一种链式晶硅制绒设备及制备方法

摘要

本发明提供了一种链式晶硅制绒设备及制备方法，属于晶硅太阳能电池领域，其包括沿所述晶硅的操作方向依次间隔排列的制绒槽、清洗槽、后处理槽、烘干槽以及用于传动花篮的链式传动系统；所述花篮用于装载硅片，所述链式传动系统包括所述制绒槽、清洗槽、后处理槽和烘干槽中每个槽体均设置的独立的传动装置。本发明提供的一种链式晶硅制绒设备能够满足分别对多晶硅和单晶硅进行制绒，还可以应用于金属催化刻蚀制绒工艺中，通用性能好，解决现有的制绒设备用途单一的问题。本发明提供的一种晶硅制绒的制备方法，能够适用于多晶硅和单晶硅的制绒工艺。

主权项

一种链式晶硅制绒设备，其特征在于，包括沿所述晶硅的操作方向依次间隔排列的制绒槽、清洗槽、后处理槽、烘干槽以及用于传动花篮的链式传动系统，所述花篮用于装载硅片，所述链式传动系统包括所述制绒槽、清洗槽、后处理槽和烘干槽中每个槽体均设置的独立的传动装置；所述制绒槽、清洗槽、后处理槽和烘干槽中每个槽体内设有传动马达，所述制绒槽、清洗槽、后处理槽和烘干槽中每个槽体上部设置有传动滚轮，所述传动滚轮与所述传动马达连接，以用于传动所述花篮；所述每个槽体中独立设置的传动装置相互配合，形成一条沿所述晶硅的操作方向的完整的链式传动条，使得所述花篮沿所述链式传动条依次传动至所述制绒槽、清洗槽、后处理槽和烘干槽；所述传动滚轮上设置有用于放置所述花篮传动带。