[发明专利]缺陷检查方法及缺陷检查装置在审
| 申请号： | 201610404074.0 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN106248690A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 室伏勇 | 申请（专利权）人： | 东芝机械株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/956 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 戚宏梅;杨谦 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及缺陷检查方法及缺陷检查装置。为了检查在工件(9)的表面形成的作为线状图案的突条(92)的缺陷，具有：拍摄工序，沿着突条(92)依次拍摄检查图像(P)；以及检查工序，对于检查图像(P)，依次进行缺陷检查，在检查工序中，基于检查图像(P)中包含的突条(92)的前端面的轮廓的连续性及图像面积来对缺陷进行判定。在拍摄工序中，根据从工件(9)的加工程序得到的突条(92)的形状数据来使摄像机(3)移动。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种缺陷检查方法，对于在表面形成有线状图案的工件，检查所述线状图案的缺陷，其特征在于，包括：拍摄工序，沿着所述线状图案依次拍摄检查图像；以及检查工序，对于所述检查图像，依次进行缺陷检查，在所述检查工序中，基于所述检查图像中包含的所述线状图案的连续性及图像面积的至少某个来对缺陷进行判定。
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