[发明专利]电磁卡盘和具有电磁卡盘的多功能研磨机有效
| 申请号： | 201610388363.6 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN106239355B | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 赖经昌史;小林和矢 | 申请（专利权）人： | 株式会社捷太格特 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34;B24B37/005 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王艳江;董敏 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种能够在加工处理期间有效地保持工件的小尺寸电磁卡盘和配备有该电磁卡盘的多功能研磨机。电磁卡盘(61至64；161至164)包括电磁卡盘主体(170)和推压构件(180、280)，其中，电磁卡盘主体(170)设置有多个磁极部(172)以及形成在两者均形成于面板的上表面上的相邻磁极部(172)之间的槽部(173)，由此通过磁极部的磁性吸引力将工件(W)吸引并固定在磁极部(172)的上表面上，推压构件(180、280)设置在槽部(173)中，以使得当工件固定至磁极部(172)的上表面时推压构件(180、280)以比由磁极部(172)施加至工件的吸引力小的力沿与吸引方向相反的方向朝向工件(W)的下表面推压所述工件(W)。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁 卡盘 具有 多功能 研磨机 | ||
【主权项】：
一种电磁卡盘，包括：电磁卡盘主体(170)，所述电磁卡盘主体(170)设置有形成在面板(171)的上表面上的多个磁极部(172)以及形成在形成于所述面板的所述上表面上的相邻所述磁极部(172)之间的槽部(173)，由此通过所述磁极部(172)的磁性的吸引力将工件(W)吸引并固定在所述磁极部(172)的上表面上；以及推压构件(180、280)，所述推压构件(180、280)布置在所述槽部(173)中，以使得当所述工件固定至所述磁极部(172)的所述上表面时所述推压构件(180、280)以比由所述磁极部(172)施加至所述工件的所述吸引力小的力沿与吸引方向相反的方向朝向所述工件(W)的下表面推压所述工件(W)。
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