[发明专利]一种基于等离子波导的偏振旋转器有效
| 申请号： | 201610367207.1 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105842787B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 肖金标;黄炎 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02B6/126 | 分类号： | G02B6/126;G02B6/12 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于等离子波导的偏振旋转器，包括正方形硅芯层、顶部金属银条带、侧面金属银条带、二氧化硅包层和衬底；正方形硅芯层位于衬底上，正方形硅芯层为纵向截面为正方形的柱状；侧面金属银条带位于正方形硅芯层的一侧，且不与正方形硅芯层接触，侧面金属银条带的形状为纵向截面为长方形的柱状；顶部金属银条带位于正方形硅芯层的顶部，且不与正方形硅芯层接触，顶部金属银条带的形状为纵向截面为长方形的柱状；正方形硅芯层、顶部金属银条带、侧面金属银条带的外部包覆有二氧化硅包层。本发明使用金属条带的表面场局域化和场增强作用调整模场分布，相比使用倾斜单边或刻蚀方法，减小了器件尺寸，同时金属条带对于模场影响具有选择性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 等离子 波导 偏振 旋转 | ||
【主权项】：
1.一种基于等离子波导的偏振旋转器，其特征在于：包括正方形硅芯层（1）、顶部金属银条带（2）、侧面金属银条带（3）、二氧化硅包层（4）和衬底（7）；所述正方形硅芯层（1）位于衬底（7）上，正方形硅芯层（1）为纵向截面为正方形的柱状；侧面金属银条带（3）位于正方形硅芯层（1）的正侧面，且不与正方形硅芯层（1）接触，侧面金属银条带（3）的形状为纵向截面为长方形的柱状；顶部金属银条带（2）位于正方形硅芯层（1）的正上方，且不与正方形硅芯层（1）接触，顶部金属银条带（2）的形状为纵向截面为长方形的柱状；所述正方形硅芯层（1）、顶部金属银条带（2）、侧面金属银条带（3）的外部包覆有二氧化硅包层（4）；所述顶部金属银条带（2）和侧面金属银条带（3）完全相同，并相互垂直放置；顶部金属银条带（2）和侧面金属银条带（3）与正方形硅芯层（1）的距离相同为60纳米；所述偏振旋转器的长度为3.1微米；偏振旋转器的整体结构沿正方形硅芯层（1）的正方形纵向截面的一条对角线完全对称。
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